新型MEMS技术用于下一代光伏

【摘要】：跨产业创新包括在彻底革新进程中的创造性模仿。本文将讨论从微机电系统(MEMS)产业转移到光伏产业的一例成功技术应用。 【作者单位】： Executive
【关键词】： 光伏产业 产业创新 微机电系统 晶圆 光刻胶 制造技术 半导体器件 光伏技术 键合机 吞吐量
【分类号】：F416.6
【正文快照】： MEMS产业的特点是可以针对不同种类的应用采用高度多样化、非标准化的工艺,而进入不同的市场。因此,成功进入市场的MEMS技术一定具有灵活多变的特点,因此也可用于其他跨产业的创新。MEMS技术已被用于微电子产业的其他分支,例如先进的封装和半导体器件中的3-D集成电路,事实证

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