光伏镀腊技术量产的真空解决方案

【摘要】：正今年2月,欧瑞康莱宝真空公司(以下简称"欧瑞康莱宝")推出了适用于研发和试验的镀膜系统以及全新系列真空泵TURBOVAC MAGiNTEGRA和DRYVAC。 【关键词】： 解决方案 真空系统 前级真空泵 光伏 镀膜 研发 碳氢化合物污染 制造工艺 新系列 结构设计
【分类号】：F416.6
【正文快照】： 今年2月,欧瑞康莱宝真空公司(以下简称“欧瑞康莱宝”)推出了适用于研发和试验的镀膜系统以及全新系列真空泵TURBOVAC MAGiNTEGRA和DRYVAC。据欧瑞康莱宝首席执行官Dr.AndreasWidl介绍,由于使用了五轴定位磁悬浮轴承,TURBOVAC MAGiNTEGRA无碳氢化合物污染的风险,相对于脂润滑

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