硅基纳米金属光刻蚀结构的侧向光伏效应
硅基纳米金属光刻蚀结构的侧向光伏效应【摘要】:研究目的是探索半导体异质结构下的新型光电效应,为位置灵敏传感器的设计提供新思路.利用磁控溅射镀膜技术在P型硅基衬底上生长N型Cr金属薄
【关键词】: 磁控溅射 纳米光刻蚀 半导体异质光伏效应结构 侧向光伏效应
【分类号】:TN305.7
【正文快照】: 光伏效应特指当光照射在物上时,在物体上出现外电压的特殊现象.通常我们将光伏相应分为2类,即纵向光伏效应与侧向光伏效应.侧向光伏效应称为The Lateral photovolatic effect,简称LPE.当点光源照射在半导体P-N上,半导体体制结,金属半导体结上时,利用其结构同一表面引出2个电极
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