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垂直多结光伏型集成硅X射线探测器的实现和实验

来源:论文学术网
时间:2024-08-19 01:33:36
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垂直多结光伏型集成硅X射线探测器的实现和实验【摘要】:介绍垂直多结器件的结构,给出了热迁移制结的工艺条件和结果;介绍了处理器件电极引线的隔离线方法,解决了经过热迁移掺杂后光刻电极套

【摘要】:介绍垂直多结器件的结构,给出了热迁移制结的工艺条件和结果;介绍了处理器件电极引线的隔离线方法,解决了经过热迁移掺杂后光刻电极套不准的难题,解决了把所有P型区域连接起来的问题,达到了敏感区金属零遮挡的目的.描述了利用展宽电极尺度的方法实现多单元器件的集成;给出了X光强与光电流电压之间的数学模型和几个重要参数,介绍了器件输出电压与X光强度之间的测量关系,理论与实际情况符合得非常好.最后对测量数据做了分析,证明器件有足够的灵敏度和分辨率. 【作者单位】: 泉州师范学院功能材料研究所;泉州师范学院物理与信息工程学院;
【关键词】垂直多结 集成X射线探测器 性能及测量
【基金】:福建省高校服务海西建设重点项目(批准号:A100) 内蒙古自然科学基金(批准号:86044)资助的课题~~
【分类号】:TL816.1
【正文快照】: 介绍垂直多结器件的结构,给出了热迁移制结的工艺条件和结果;介绍了处理器件电极引线的隔离线方法,解决了经过热迁移掺杂后光刻电极套不准的难题,解决了把所有P型区域连接起来的问题,达到了敏感区金属零遮挡的目的.描述了利用展宽电极尺度的方法实现多单元器件的集成;给出了X

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