垂直多结光伏型集成硅X射线探测器的实现和实验

【摘要】：介绍垂直多结器件的结构,给出了热迁移制结的工艺条件和结果;介绍了处理器件电极引线的隔离线方法,解决了经过热迁移掺杂后光刻电极套不准的难题,解决了把所有P型区域连接起来的问题,达到了敏感区金属零遮挡的目的.描述了利用展宽电极尺度的方法实现多单元器件的集成;给出了X光强与光电流电压之间的数学模型和几个重要参数,介绍了器件输出电压与X光强度之间的测量关系,理论与实际情况符合得非常好.最后对测量数据做了分析,证明器件有足够的灵敏度和分辨率. 【作者单位】： 泉州师范学院功能材料研究所;泉州师范学院物理与信息工程学院;
【关键词】： 垂直多结 集成X射线探测器 性能及测量
【基金】：福建省高校服务海西建设重点项目(批准号:A100) 内蒙古自然科学基金(批准号:86044)资助的课题~~
【分类号】：TL816.1
【正文快照】： 介绍垂直多结器件的结构,给出了热迁移制结的工艺条件和结果;介绍了处理器件电极引线的隔离线方法,解决了经过热迁移掺杂后光刻电极套不准的难题,解决了把所有P型区域连接起来的问题,达到了敏感区金属零遮挡的目的.描述了利用展宽电极尺度的方法实现多单元器件的集成;给出了X

您可以在本站搜索以下学术论文文献来了解更多相关内容

一种新型快塑料闪烁体的性能研究    郭存,徐荣昆,李正宏,夏广新,宁家敏,宋凤军

化学气相沉积金刚石探测器测量辐射驱动内爆的硬X射线    余波;陈伯伦;侯立飞;苏明;黄天晅;刘慎业;

快响应塑料闪烁体EJ-232的时间特性研究    彭晓世;王峰;徐涛;刘永刚;刘慎业;梅雨;陈铭;

喷墨打印有机晶体管早期失效机理的光谱学研究    梁堃;龚敏;李毅;Russel Torah;Steve Beeby;John Tudor;

ST401闪烁体形状与光反射膜对其光收集效率的影响    王栋;杨高照;彭太平;

1维时空分辨X光辐射功率图像的处理方法    王真;杨建伦;李林波;宁家敏;

Z-pinch内爆等离子体时空分辨诊断技术    杨建伦;李正宏;徐荣昆;许泽平;李林波;宁家敏;王真;章法强;蒋世伦;郭存;夏广新;宋凤军;陈进川;钟耀华;

轴向流对Z箍缩等离子体稳定性的影响    张扬;丁宁;

掺杂有机染料的铅锡氟磷酸闪烁玻璃及其在伽马激发下的发光    夏良斌;欧阳晓平;王群书;康克军;何小玲;顾牡;

中俄Z-pinch联合实验新进展    徐荣昆;李正宏;杨建伦;丁宁;周秀文;蒋世伦;章法强;王真;许泽平;宁家敏;李林波;E.V. Grabovsky;G.M. Oleynic;V.V. Alexandrov;V.P. Smirnov;

用于脉冲n/γ混合场中n、γ甄别的新型探测器的研究    单卿;贾文宝;凌永生;黑大千;曾捷;魏勇红;张焱;

软X射线聚束透镜特性研究    秦义

几种常用闪烁体耐γ辐照特性研究    艾自辉

利用聚束透镜获得高亮度软X射线源的技术研究    陈定阳

载~6Li塑料闪烁体能量响应模拟计算及特性参数实验研究    黄强

化学气相沉积金刚石薄膜探测器对α粒子的电荷收集效率    雷岚;欧阳晓平;曹娜;张显鹏;王兰;仲云红;

金刚石膜α粒子探测器的电学性能研究    王林军;刘健敏;苏青峰;史伟民;夏义本;

化学气相沉积金刚石探测器测量软X射线能谱    侯立飞;李芳;袁永腾;杨国洪;刘慎业;