太阳能级晶体硅中杂质的质谱检测技术探究

【摘要】：影响太阳能电池发电的一个重要的因素就是太阳能级晶体硅的杂质种类以及质量,所以,检测太阳能级晶体硅中杂质就成为关键的一个环节。伴随着当今社会光伏产业的快速发展,杂质检测技术也不断地进行升级改造。文章主要详细介绍了电感耦合等离子体质谱法、二次离子质谱(SIMS)法、辉光放电质谱(GDMS)法、激光电离质谱(LIMS)法并详细探讨这四种质谱法的应用原理以及特点,从而为检测太阳级晶体硅中杂质提供借鉴。 【作者单位】： 天津中环半导体股份有限公司;
【关键词】： 太阳能级晶体硅 杂质检测 质谱检测
【分类号】：O657.63;TQ127.2
【正文快照】： 1四种质谱法的详细介绍1.1电感耦合等离子体质谱法电感耦合等离子体质谱法兴起于20世纪80年代,是一种分析测试无机元素和同位素的技术,它是一种高灵敏度的分析技术,既具备电感耦合等离子体的高温电离特性的优点,也具备质谱计的灵敏快速扫描的优点。主要用在同时测定多种元素,

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