太阳能选择性吸收涂层新材料的研究

【摘要】：正利用直流磁控反应溅射方法,以铝合金(LYI3)为靶材.空气为反应气体制备了太阳光谱选择性吸收层及减反射层,写成Al_xO_y-AIN_x/AI_xO_y-AIN_x-AI/AI形式.实验发现,用空气制备的减反射涂层其折射率n=165～175,消光系数k≈0减反射效果比AIN更好.控制氩气和空气流量的比例.制备 【作者单位】：清华大学电子工程系 清华大学电子工程系 清华大学电子工程系
【分类号】：TB34
【正文快照】： 利J钉卣流磁控反应溅射方法,以铝合金fLYl3)为靶材.空气为反应气体制备了太阳光谱选择性吸收层及减反射层,写成Alx0,.AIN。/AI。0,.AIN、.AI/AI形式。实验发现,用空气制备的减反射涂层其折射率n=1.65～1.75,消光系数k≈0减反射效果比AlN更好。控制氩气和空气流量的比N.~IJi0

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