有机太阳能电池ITO电极的光刻制备法及其研究

【摘要】：目前有机太阳能电池是光电行业研究的热点之一。通常该器件以 ITO 为阳极,通过真空蒸镀的方法制作。在对器件进行测试时,ITO 电极的设计制作,有利于器件的保护。用光刻技术进行 ITO 电极的制作,可以得到非常精细的结果。重点阐述了利用光刻方法制作优良 ITO 电极的注意点,包括表面清洗、曝光控制、显影控制和腐蚀工艺,其中由于不同 ITO 玻璃的导电层厚度、各成分含量不同,所以腐蚀工艺的研究是重点中的重点。提供了对生成光刻 ITO 电极的质量进行准确评价的一种简便方法。 【作者单位】：江南大学理学院 江南大学理学院 江南大学信息工程学院 江南大学信息工程学院 无锡尚德太阳能电力有限公司电池研发部 无锡尚德太阳能电力有限公司电池研发部 江南大学理学院
【关键词】：ITO电极 光刻 方块电阻
【分类号】：TM914.4
【正文快照】： 引言 目前，有机太阳能电池的研究已成为热点。通常采 用的结构如图1所示ll]。这种结构只是用于文献中描述， 实际情况下存在多种弊端。例如:真空蒸镀铝时，铝原 子易扩散至rro处，造成短路;测试时，探针或电夹容 易对器件造成刺穿等破坏;即使在阴极滴上银浆，用导 线引出电

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