某微电子厂房洁净室暖通空调设计原理及方法探讨

【摘要】：本文结合了某微电子厂房洁净室空调系统的实例,分析了洁净室的净化空调设计原理,并对气流组织方式、空气处理过程、排风排烟系统进行了阐述和讨论。 【作者单位】： 同济大学建筑设计研究院
【关键词】： 洁净室 空调设计 风机过滤单元机组(FFU) 干式冷盘管
【分类号】：TU831.8
【正文快照】： 1工程概况 该微电子工厂主要从事芯片的设计、开发、制造、 销售和技术服务。新主厂房建成投产后，集成电路生 产技术水平从现在的1.2微米提升到0.8微米。厂 区包括主厂房、化学品库、动力厂房、行政办公楼等。 主厂房为三层建筑，从下至上依次为动力下技术夹 层、洁净下技术

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