首页 > 学术论文

非晶硅锗薄膜太阳能电池研究

来源:论文学术网
时间:2024-08-18 21:59:39
热度:

非晶硅锗薄膜太阳能电池研究【摘要】:由于非晶硅锗材料的光学带隙连续可调,在叠层电池中其被广泛用作中电池和底电池吸收层材料。本文采用射频-等离子体增强化学气相沉积工艺(RF-PECV

【摘要】:由于非晶硅锗材料的光学带隙连续可调,在叠层电池中其被广泛用作中电池和底电池吸收层材料。 本文采用射频-等离子体增强化学气相沉积工艺(RF-PECVD)制备非晶硅锗薄膜,系统研究了不同工艺参数对薄膜沉积速率、光学带隙以及电学性能的影响。在研究范围内随沉积压强和辉光功率增大,薄膜性能先改善后劣化。辉光功率必须和沉积压强结合以控制等离子体性质从而控制离子轰击和等离子体反应。在一定的沉积压强和辉光功率下,反应气体中锗烷浓度增加时,薄膜沉积速率不断增大,光学带隙不断降低,材料电学性能不断衰退,在光学带隙满足目标时,锗烷浓度不能过大。衬底温度升高促进活性基团在生长表面的扩散,薄膜沉积速率和光学带隙随着衬底温度升高不断降低,薄膜结构的弛豫导致电学性能不断提高,但是温度过高会导致缺陷态密度不降反升,电学性能衰退。氢稀释的作用与衬底温度类似,氢稀释提高减少悬挂键密度从而提升材料质量,但是氢稀释过大会导致氢的刻蚀作用加强。通过优化工艺参数,制备出光学带隙为1.5eV,光敏性为6×104的非晶硅锗薄膜。 在高质量非晶硅锗材料的基础上制备了单结非晶硅锗电池,研究了不同窗口层、界面层、本征吸收层厚度以及背反接触层TCO对电池性能的影响。采用p-a-SiC:H窗口层可以提高电池开路电压和短路电流。P/i界面的碳缓冲层和渐变锗缓冲层可以大大提高电池性能,而i/n界面的逆渐变锗缓冲层对电池性能的改善作用不大。本征层厚度必须在光吸收和载流子收集之间取得折中,必须具有一定厚度但是不能超过载流子的收集长度。背反电极接触层TCO减少了背电极金属的吸收损耗从而大幅度提高了短路电流密度和电池转换效率。最终制备出转换效率达到8.6%的单结a-SiGe:H电池。 【关键词】:射频-等离子体化学气相沉积 非晶硅锗 太阳能电池 转换效率
【学位授予单位】:华中科技大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2013
【分类号】:TM914.42
【目录】:
  • 摘要4-5
  • Abstract5-9
  • 1 绪论9-16
  • 1.1 研究背景9-10
  • 1.2 非晶硅锗薄膜太阳能电池现状及研究意义10-14
  • 1.3 本论文的内容和结构14-16
  • 2 非晶硅锗材料与电池基础及其特性表征方法16-27
  • 2.1 非晶硅锗材料16-18
  • 2.2 非晶薄膜太阳能电池18-19
  • 2.3 非晶薄膜沉积基础19-23
  • 2.4 材料特性表征方法23-25
  • 2.5 电池特性表征方法25
  • 2.6 小结25-27
  • 3 器件质量级非晶硅锗薄膜的制备27-45
  • 3.1 非晶硅锗薄膜制备工艺流程27
  • 3.2 工艺参数对非晶硅锗材料性能的影响27-43
  • 3.3 小结43-45
  • 4 非晶硅锗太阳能电池研究45-55
  • 4.1 非晶硅锗太阳能电池制备45-46
  • 4.2 电池窗口层研究46-48
  • 4.3 电池界面层研究48-51
  • 4.4 本征层厚度研究51-52
  • 4.5 背接触层研究52-53
  • 4.6 小结53-55
  • 5 总结与展望55-57
  • 致谢57-58
  • 参考文献58-65
  • 附录 作者在攻读硕士学位期间发表的论文65


您可以在本站搜索以下学术论文文献来了解更多相关内容

友达太阳能垂直整合布局见雏型    

全球薄膜电池产能增速连续两年逾120%    

保定天威采用欧瑞康太阳能技术开始量产薄膜太阳能电池    

江南体育在线直播观看 技术演绎城市亮化照明的缤纷时代    朱俊;

将太阳能电池打印到纸上    波合;

亚洲第一座聚光型太阳能示范电厂将在台运转    

日本产综研所制成高分子涂布型有机薄膜太阳能电池的高集成模块    江兴;

全球首条双线双结大面积硅基高效薄膜太阳能电池项目投产    潘雄;

薄膜太阳能 下一桶金?    Helen;

适度加快我国薄膜电池产业发展步伐    

构建生态宜居之都—从光伏建筑一体化开始    时方晓;陈曦;

薄膜太阳电池用TCO玻璃发展分析    郭卫;陈静;

铜铟硒(CIS)薄膜太阳能电池吸收层的硒化工艺优化研究    王波;刘平;李伟;刘新宽;马凤仓;陈小红;

铜铟镓硒和铜锌锡硫化合物半导体纳米材料的制备    张庶;张晓琨;孙一灵;向勇;

新型高效铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳能电池的研究和开发状况    庄大明;张弓;

铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳能电池的研究进展    岳恩;唐龙;罗顺安;张平;

CuO薄膜的制备及其光伏特性    张君善;高斐;刘晓静;宋美周;李宁;

温度交变环境对薄膜太阳电池相关层材料性能的影响    郝延明;蔡宏琨;周严;林波;张德贤;林列;

基于碳纳米管的薄膜太阳能电池及多孔吸附材料    曹安源;

光电子玻璃相关技术    

非晶硅薄膜太阳能电池项目开工    梅永生 王芳 姜木金

薄膜太阳能电池关键设备实现中国造    本报记者 汪叶舟

我国生产高端薄膜太阳能电池有了“利器”    记者 王春

成本优势凸显 薄膜太阳能电池产业提速    于化丛

超大型硅基薄膜太阳能电池下线    魏双林

做企业要“快”人半拍    翟永杰 本报记者 李延生

汉能薄膜太阳能电池 项目可行性通过评审    刘平 王超慧

薄膜太阳能电池 超薄 廉价 高效    

我可再生能源研究取得新进展    记者 冯国梧 通讯员 张国

我国将建第一条铜铟硒薄膜太阳能电池中试线    风影

铜铟硒薄膜太阳能电池相关材料研究    万磊

溶胶—凝胶法制备铜锌锡硫(Cu_2ZnSnS_4)薄膜太阳能电池    苏正华

纳米半导体材料对新型薄膜太阳能电池性能影响的研究    郭薇

Cu_2ZnSnSe_4薄膜太阳能电池的制备及其p-n结能带偏移的研究    李纪

柔性基底薄膜太阳能电池研究与试制    冯煜东

对溅射法制备的铜铟镓硒吸收层与掺铝氧化锌窗口层结构与性能的研究    李欣益

基于二氧化钛与聚苯胺太阳能电池的研究    刘自然

非晶微丝的巨磁阻抗效应及其连接和温度特性    刘景顺

纳米颗粒墨水法制备Cu(In,Ga)Se_2和Cu_2ZnSnSe_4薄膜太阳能电池的工艺研究    刘英

铜铟硒薄膜太阳能电池材料的制备与若干理论计算研究    蒋方丹

非晶硅锗薄膜太阳能电池研究    程碧胜

有机薄膜太阳能电池物理性质的研究    王平

纳米硅薄膜太阳能电池的制备和性能研究    叶枫

铜锌锡硒薄膜太阳能电池相关材料的研究    韩磊

铜锌锡硒薄膜太阳能电池研究    孟明明

硅基薄膜太阳能电池材料的制备与性能研究    尤天友

有机小分子薄膜太阳能电池器件电极缓冲层的机理研究    刘亚东

薄膜太阳能电池的遗传算法优化    王全志

基于背部表面等离子体对薄膜太阳能电池效率的影响    王李

碲化镉薄膜太阳能电池相关材料的制备与表征    侯泽荣

Baidu
map