首页 > 学术论文

平面旁热式甲烷气敏元件的研制

来源:论文学术网
时间:2024-08-18 21:20:28
热度:

平面旁热式甲烷气敏元件的研制【摘要】:目前,气体传感器在生活中的应用越来越广泛,高灵敏度、低功耗、小型化的气体传感器已经成为发展方向。传统的气体敏感元件如陶瓷管旁热式气体敏感元件等

【摘要】: 目前,气体传感器在生活中的应用越来越广泛,高灵敏度、低功耗、小型化的气体传感器已经成为发展方向。传统的气体敏感元件如陶瓷管旁热式气体敏感元件等,由于工艺问题无法保证元件在输出方面的一致,导致后面的二次仪表难以统一配置。本实验尝试使用了半导体平面工艺制作气敏元件,以解决元件一致性方面的问题,同时要求元件有较好的灵敏度等特性。 元件主要利用溅射、光刻等半导体平面工艺在硅片上制作出其铂薄膜加热电阻,所有加热电阻都在完全相同的工艺条件下制作完成,这样就保证了加热电阻在阻值等方面完全一致,使元件有了具备较好一致性的前提。 甲烷气体通常需要在较高的工作温度下工作,要达到这个工作温度区间,如果元件体电阻越大,功耗就会越大,元件体电阻越小,功耗就会越小,为了降低功耗,需要降低元件体电阻,因此在敏感膜材料中掺杂了一定比例的Sb_2O_3、SnCl_4、SnCl_2、SnO等物质,大大降低了元件的体电阻。 同传统的气敏元件一样,为了得到较高的灵敏度,根据甲烷的特性,要在敏感材料中添加合适的催化剂,如PdCl_2、AuCl_3·HCl等,添加不同浓度的催化剂,会有不同的灵敏度。 实验对不同的掺杂、不同的工艺条件下所制成的元件进行了测试,分析了测试结果,实验结果表明,用半导体平面工艺制作元件加热电阻,再用厚膜工艺制作元件气敏膜,这样制作平面气敏元件的思想是可行的。 文章最后对所研制的气敏元件的气敏机理作了论述。 【关键词】:平面 甲烷 气敏元件
【学位授予单位】:沈阳工业大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2002
【分类号】:TP212
【目录】:
  • 1 绪论8-14
  • 1.1 气体传感器的种类8-9
  • 1.2 国内外气体传感器的发展状况9-12
  • 1.3 课题的提出及主要解决问题12-14
  • 2 元件加热电阻的制备14-20
  • 2.1 加热电阻材料、制备工艺的选择14
  • 2.2 溅射技术14-15
  • 2.3 铂薄膜电阻的制作工艺15-20
  • 3 敏感膜材料的选取和制备20-25
  • 3.1 SnO_2的特点和制备20-23
  • 3.1.1 SnO_2的特点20-21
  • 3.1.2 SnO_2的制备21-23
  • 3.2 添加剂的选取23-25
  • 4 元件的制备25-29
  • 4.1 气敏浆料配制25-26
  • 4.2 敏感膜涂敷26
  • 4.3 敏感膜烧结26
  • 4.4 引线焊接26-27
  • 4.5 金浆焊点烧结27
  • 4.6 本元件和普通旁热式元件的制备工艺比较27-29
  • 5 测试结果与分析29-48
  • 5.1 元件的测试方法29-30
  • 5.1.1 测试电路与装置29
  • 5.1.2 测试方法29-30
  • 5.2 灵敏度特性30-38
  • 5.2.1 灵敏度K的定义30-31
  • 5.2.2 灵敏度与催化剂的关系31-35
  • 5.2.3 灵敏度与烧结温度、时间的关系35-38
  • 5.3 敏感膜的降阻38-42
  • 5.3.1 掺杂Sb_2O_3降阻38-39
  • 5.3.2 掺杂SnCl_2降阻39-40
  • 5.3.3 掺杂SnCl_4降阻40-41
  • 5.3.4 掺杂SnO降阻41-42
  • 5.4 加热特性42-43
  • 5.5 灵敏度与气体浓度的关系43-45
  • 5.6 响应恢复特性45-46
  • 5.7 气体选择性46-48
  • 6 敏感机理分析48-55
  • 6.1 SnO_2气体传感器的导电机理48-53
  • 6.1.1 基本模型48-49
  • 6.1.2 SnO_2半导体气敏元件的工作原理49-52
  • 6.1.3 甲烷的敏感机理52-53
  • 6.2 改进措施53-55
  • 7 结论55-56
  • 致谢56-57
  • 研究生在读期间已发表的论文57-58
  • 参考文献58-61
  • 附录一 曲线拟合方法61-64
  • 附录二 电镜实验原理64


您可以在本站搜索以下学术论文文献来了解更多相关内容

烧结型乙炔和甲醛气体传感器的研制    张蕾

基于金属氧化物的甲醛气敏元件的研制    何丽萍

实验室气敏测试系统的组建与半导体气敏材料研究    姚爽

纳米ZnO甲烷传感器的制备及性能研究    田守勤

常温甲烷气敏元件的研制    孙良彦

潜水电泵中传感器的工作原理及其监控保护    唐多权

非晶氮化镓纳米超薄膜PLD制备及其场发射性能    王峰瀛;王如志;赵维;宋雪梅;王波;严辉;

SnO_2元件与Fe_2O_3元件热特性分析    迟宗涛,王淑华,姜学军

Gemini表面活性剂N,N’-双脂酰基乙二胺二乙磺酸钠的性能研究    马晓梅;程祥胜;张素贞;邢雅成;

ZnO导电陶瓷的制备及电性能研究    韩娟,张永恒

在五组分溶液体系中制备碳酸钙微球    师连阁;杜芳林;

水平螺旋槽微肋管壁面升膜流动特性的研究    李艳;梅宁;武雅洁;

n-SiO_2/BGF和PE_i-BGF/SiO_2两类复合磨粒及抛光液对硅的抛光性能影响    姚伟强;黄亦申;游红武;许雪峰;

电子通量对ZnO/K_2SiO_3热控涂层光学性能的影响    王旭东,何世禹,杨德庄

连续波激光辐照PV型HgCdTe探测器的新效应    李文煜,程湘爱,陆启生,许晓军,江厚满,马丽芹

粉料埋烧对二氧化钛陶瓷压敏和介电性能的影响    孟凡明;孙兆奇;

电化学传感器的研究和进展    郭萌;姚素薇;张卫国;张莹;

破解中国婴儿肾结石病因与婴儿奶粉关系的译码及孩子肾结石病机理分析    郦韬珉;

脱水铝系污泥吸附去除水溶液中磷的研究    胡静;吴树彪;董仁杰;

薄膜电阻器件的低频噪声测试方法研究    吴勇;庄奕琪;杜磊;魏文彦;

高能球磨对Pr_6O_(11)和Y_2O_3掺杂ZnO压敏电阻微观结构和电学性能的影响    齐国权;朱建锋;毛海波;王芬;

添加RuO_2厚膜NTC热敏电阻微观结构的研究    肖国伟;武国胜;武明堂;

氧化锌颗粒膜电阻响应-恢复特性研究    刘延辉;谢长生;曾大文;周细应;

大气开放式MOCVD方法制备ZnO薄膜的气敏特性研究    沈敬亭;张跃;

Li、Mg双组分掺杂ZnO薄膜的结构与性能    李珍;艾常涛;陈文;李飞;杨密纯;

海洋优势菌种附着腐蚀Fe_3Al及其复合材料界面与机理研究    常雪婷

煤层注水抑制瓦斯解吸效应实验研究与应用    肖知国

聚乙烯/无机填料复合材料非线性电导特性及机理研究    郭文敏

喷雾药液在靶标植株上的沉积与润湿研究    陆军

钙钛矿型氧化物薄膜的激光感生热电电压效应及光探测器应用    熊飞

TiO_2压敏陶瓷的晶界偏析与势垒结构研究    严继康

Bi_2Te_3体系的材料制备、晶体结构及热电性能    王晓琳

碳纳米纤维的高温转变及其同质异构结的特性研究    祁祥

浆膜动态性能研究及其在蒙脱土掺杂浆料改性效果评价中的应用    张志奋

纳米磺酸钙镁复合清净剂的合成、性能与机理研究    梁生荣

阳泉无烟煤对CH_4、CO_2吸附特性研究    任子阳

苯乙烯—异戊二烯(或丁二烯)嵌段共聚物表面结构的形成及其影响因素    赵玉荣

五种新型杯[4]芳烃衍生物的合成、表征及在电分析中的应用研究    王成斌

二价阳离子对阴离子表面活性剂与铝盐混凝的影响    杨飞飞

SiC MOS界面特性的电导法研究    李林茂

SnO_2基陶瓷半导体热电材料的研究及制备    曹恒淇

阳离子表面活性剂和重油复合体系在海洋沉积物上的吸附行为    郑翠英

BDT铁电薄膜和ZnO纳米带压电性能的测试与表征    荣英凤

水平刻槽管壁面升膜蒸发传热传质耦合研究    王桂荣

电化学传感器用于堆肥中简青霉产漆酶检测的研究    周雯婧

气敏材料的研究现状和发展趋势    赵伟,张忠锁,刘巧敏,张强

半导体气敏元件的结构及制作工艺    熊力,王金成,朱军南

纳米材料气敏传感器    赵书华,宋丽岩

煤矿甲烷测量原理及其常见故障分析    范振兴

空气中微量甲醛的快速检测方法的研究    郑春生,王建清,杨南,邓起良,张晨曦,景作亮,张培

提高半导体气敏元件检测能力的研究    边志华

水热处理对二氧化锰电容性能的影响    刘素琴;王珏;黄可龙;龚汉祥;

高精度气敏传感器测试系统的研制    张庆荣;张鹏波;李成贵;

聚苯胺/二氧化钛复合薄膜的制备及其气敏性能    太惠玲;蒋亚东;谢光忠;杜晓松;陈璇;

金属氧化物半导体气敏机理探析    田敬民,李守智

微结构气敏传感器与电子鼻研究    李建平

氧化物多孔纳米固体气敏传感器的研究    徐红燕

氧化物纳米材料的合成、结构与气敏特性研究    徐甲强

气敏元件测试系统的研究与设计    陈冰峰

超细氧化锌的制备及气敏性能研究    冯勋

基于塞贝克效应的气敏传感器的研制    余华梁

金属氧化物气敏材料制备与气敏性能研究    田俊峰

甲醛气敏元件研制及灵敏度特性研究    吴娜

基于检测甲烷气敏传感器的制备和研究    李巍

镍、氧化镍及氢氧化镍纳米材料的制备和表征    张小细

半导体金属氧化物纳米材料的固相合成及其气敏性能的研究    孙志鹏

基于USB的气敏元件测试系统的设计与开发    王法秀

四针状纳米ZnO的烧结行为及其对气敏、光学性能影响的研究    郭幸

基于光表面等离子波共振的矿井瓦斯检测技术研究    付华;李立军;陈子春;

聚苯胺微/纳米材料的制备及其性质研究    高雨

ZnO、TiO_2微/纳结构合成及其气敏与太阳电池应用研究    张艳艳

基于随机共振技术的声表面波瓦斯传感器的研究    池继辉

基于TiO_2纳米管的NO_2气敏传感器研究    郝赟

高精度气敏特性测试系统的研制    王冠男

非水体系下聚苯胺纳米结构的合成及气敏性质研究    张莉

基于ARM的气体敏感材料测试系统的设计    王锐

井下便携式多参数检测仪的硬件实现    夏杰

硅基微结构气体传感器的设计及特性研究    马晓康

ZnO纳晶多孔薄膜的制备及其气敏和光敏性能    孙传真

常温甲烷气敏元件的研制    孙良彦

低温选择性硫化氢气敏元件的研制 ̄①    徐甲强,安春仙,李宝凤,朱文会

贵金属催化剂对锡酸锌气敏特性的影响 ̄①    徐甲强,李宝凤,秦建华,杨中智 ̄②朱文会 ̄①

超临界流体干燥法合成超微二氧化锡    陆凡,陈诵英

纳米SnO_2微粉的制备与性能    刘杏芹,陶善文,沈瑜生

Baidu
map