高纯甲烷、乙烷、丙烷的制备及其纯度分析

【摘要】：高纯甲烷、乙烷、丙烷在工业、科研等各部门有广泛的用途。本文介绍了这些气体一些主要的制备和分析方法。其中生产的乙烷和丙烷纯度超过99.99％,已达国外同类产品研究级水平。 【作者单位】：
【关键词】： 甲烷 高纯气体 吸附器 纯度分析 丙烷 吸附剂 吸附技术 乙烷 提取率 原料气
【正文快照】： 前言 高纯甲烷、乙烷和丙烷在化工、冶金、电子、石油等工业部门和科研、航空、原子能等领域被广泛用作标准气、校正气、在线仪表标准气、催化剂的评价气〔’,2〕、配制某些特种混合气〔2’3’,以及用于某些机理的研究。最近,这些高纯气体正被逐渐用作大规模集成电路微电子元

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