预试环中H_2及掺杂甲烷的辉光放电清洗

【摘要】：本文给出了在预试环中产生和维持辉光放电的基本参数、氢气(H_2)及氢气掺杂甲烷(H_2/CH_4)辉光放电清洗过程中的质谱分析结果以及氢气辉光放电清洗处理后的样品表面SIMS(二次离子质谱)结果,并进行了讨论。 【作者单位】： 西南物理研究所
【关键词】： 辉光放电清洗 质谱分析 SIMS分析
【正文快照】： 一、引言 H:辉光放电能有效地清除环流器真空器壁的碳,H汀CH‘辉光放电能有效地清除’氧.近年来,很多环流器采用辉光放电作为清洗锻炼真空室的手段。预试环中的辉光放电清洗实验发现,限流电阻的大小对辉光放电的产生和维持起着关键的作用,且对放电时的气压范围影响甚大。H:辉

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