甲烷-氢混合气相生长金刚石薄膜

【摘要】： 【作者单位】： 湖南大学物理系 湖南大学物理系 湖南大学物理系 湖南大学物理系
【关键词】： 金刚石薄膜 混合气 甲烷 金刚石膜 CVD法 衬底温度 石墨腐蚀 碳氢化合物 低气压 氢原子
【正文快照】： 目前,金刚石的合成主要是以石墨为原料,采用高温高压法合成金刚石小颗粒.尽管从五十年代起,许多研究工作者以碳氢化合物为原料想在低气压下合成金刚石薄膜.但一直到七十年代初,S.Aissenbera[1]和C·Weissma-netl[2]等才用离子淀积法生长出了类金刚石薄膜(即膜的大部分为非晶

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