LSC-Ⅰ型PCVD非晶硅太阳能电池设备的研制

【摘要】：正 一、前言 LSC-Ⅰ型PCVD非晶硅太阳能电池设备系我中心为国家"七五"攻关项目(75-70-05-15)专题而专让设计制造的一台线列式七室连续沉积设备,该设备于1991年3月30日通过了国家教委鉴定。评审专家一致认为,该设备结构新颖、设计合理、性能优良、技术指标先进、开发潜力大,为大面积薄膜器件的 【作者单位】： 中国科学院沈阳科学仪器研制中心;
【关键词】： 非晶硅太阳能电池 真空室 设备系统 辉光放电 沉积设备 设计制造 衬底温度 均匀性 大面积 研制
【正文快照】： 一、前言 LSC一1型PCVD非晶硅太阳能电池设备系我中心为国家“七五”攻关项「! (75一7任魂)5一15)专题f(lJ专计二设i卜制造的一台线列式七室连续沉积设备,该设备!二四91年3月30[1通过了困家教委鉴定评审专家一致认为,该设备结构新颖、设计合理、性能优良、技术指标先进、Jli

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