碳化钛太阳能选择性吸收薄膜的研究
碳化钛太阳能选择性吸收薄膜的研究【摘要】:本文报道了适用于真空集热管的碳化钛(TiC_x)太阳能选择性吸收薄膜的制备及性能。采用磁控溅射单靶金属钛反应溅射法在铜基体上沉积制成选择性
【关键词】: 选择性吸收薄膜 太阳能选择 碳化钛 镀膜工艺 红外反射光谱 铜基体 红外发射率 真空集热管 吸收率 吸收膜
【正文快照】: 一、月U舀 目前制备太阳能选择性吸收薄膜的材料有:TIN二一Ag(2J、cr一510〔”、M。一A12O3、R一A12o3闭、黑铬及不锈钢碳化物一铜等。制备方法有:磁控溅射、射频溅射、蒸发及电化学涂膜等。这些膜系虽有较好的光学性能,但有的原材料贵(如银、铂等),有的生产成本高(如射频溅射
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