多晶硅太阳能电池激光电化学复合绒面工艺规律研究

【摘要】：针对多晶硅太阳能电池激光电化学复合绒面方法,以光陷阱结构的截面轮廓为加工质量指标,研究了绒面图案、激光单脉冲能量、电化学加工电压对多晶硅太阳能电池绒面效果的影响。研究结果表明:同样参数条件下,阵列微坑的绒面效果优于阵列微槽;激光单脉冲能量对于光陷阱结构的形成占据主导作用,脉冲能量越大,绒面效果越好;电化学作用主要是去除光陷阱底部的再铸层,改善截面轮廓,有利于降低反射率;适用的电化学加工电压范围是10-15V;激光电化学复合绒面获得最佳效果可以将多晶硅表面对波长400-760nm的可见光的反射率降低至10%以下。 【作者单位】： 南通大学机械工程学院;
【关键词】： 激光加工 电化学加工 多晶硅太阳能电池 绒面
【基金】：国家自然科学青年基金项目(51205212) 江苏省自然科学青年基金项目(BK2012233) 2014年度江苏省青蓝工程
【分类号】：TM914.4;TN249
【正文快照】： 多晶硅是一种典型的硬脆性难加工材料,也是制作太阳能电池的主要材料。为了获得更高的光电转化效率,要在多晶硅表面进行织构,即绒面处理,以降低多晶硅表面对太阳光的反射[1-10]。由于多晶硅的硬脆性,很难用常规加工方法对其绒面处理。激光加工是利用高能量密度的激光束聚焦工

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