电真空器件清洁处理

【摘要】：电真空器件要求零件和部件表面洁净度高、没有油污。研究在制造真空电子器件工艺过程中油污对电镀、钎焊和衰减材料涂覆的影响。提出采用超声加去油溶液的方式去除制管过程中的油污,确定了电真空器件的清洗工艺,保证其清洁性。降低器件表面的出气率,保证阴极发射水平和电子枪的耐压强度,提高器件的可靠性和使用寿命。 【作者单位】： 中国科学院电子学研究所高功率微波源与技术院重点实验室;
【关键词】： 电真空器件 表面 超声 清洁性
【分类号】：TN105
【正文快照】： 0引言随着空间科学技术的发展及国防现代化军事装备的需要,电真空器件必须具有高可靠、长寿命、低噪音、宽频带、大功率的特点,常应用于地面、舰载、机载、卫星通讯、雷达、电子对抗、精确制导等武器系统中,其性能和质量的优劣对武器装备的性能和质量起至关重要的作用,被誉为

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