直流电场中甲烷气体的分解过程

【摘要】：采用MonteCarlo模拟方法 ,对直流电场中甲烷分子的分解过程进行研究 ,计算出电子在甲烷气体中的漂移速度 ,结果与实验符合得很好 ,同时 ,得到了甲烷分解碎片的空间分布曲线 .这些结论对于EACVD合成金刚石薄膜的动力学研究有重要意义 【作者单位】： 河北大学物理科学与技术学院!河北保定071002 河北大学物理科学与技术学院!河北保定071002
【关键词】： MonteCarlo方法 漂移速度 甲烷分解
【分类号】：O623;O484.1
【正文快照】： 近年来 ,随着电子助进化学气相沉积 (ＥＡＣＶＤ)合成金刚石技术的发展 ,对甲烷分子在直流电场中分解过程的研究日显重要 ,主要因为甲烷是ＥＡＣＶＤ生长金刚石膜技术中常用的碳源物质 ,因而其在直流电场中的分解产物及其产物的空间分布直接影响着金刚石薄膜的生长 .为了搞清

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