研制平面旁热式甲烷气敏元件

【摘要】：本文介绍了一种平面旁热式甲烷气敏元件的研制。它是利用高频溅射仪在硅片上制作出加热电阻。在它的气敏材料中,通过添加多种物质来降阻,从而使元件工作温度易于达到甲烷气体的敏感温度区域。并讨论了不同加热电压对灵敏度的影响。 【作者单位】： 沈阳工业大学561＃ 沈阳工业大学561＃
【关键词】： 平面旁热式 甲烷 气敏元件
【分类号】：TP212
【正文快照】： 一、引言 随着石油工业的发展,天然气大量开掘,在工业、家庭等方面已得到广泛应用,但由于它的易燃易爆的特点,给使用者带来一定的危险性,故它的安全检测和防范显得越来越重要,也越来越引起人们的重视。目前,市场上所售的产品主要以二氧化锡气体传感器为主,多为普通的旁热式

您可以在本站搜索以下学术论文文献来了解更多相关内容

Pt薄膜平面热线型NH_3敏元件    王哲,全宝富,王剑刚,孙良彦,李云鹏,孙承松,周立军

半导体TiO_2晶型转变与自身半导化特性研究    于雷;裴素华;

关于变压器油中溶解气体在线监测的综述    贾瑞君

ZnO气敏材料的研究进展    祝柏林,谢长生

ZnO系半导体陶瓷气敏传感器的进展    娄向东,沈荷生,沈瑜生

在氧化锡中掺杂锑的厚膜气体传感器    彭士元,赵增光,高松

平面直热式气敏元件及其表面修饰    全宝富,全海英,王军峰,孙良彦

多孔Al_2O_3薄膜的研制    吴海霞,王占和,李印增

一种提高电阻式传感器灵敏度的双传感器电路    郭兰静,卢红霞,朱志力,田国勋,杨德林,胡行

气体传感器研究动向    杨邦朝,张益康

一种同时测定湿敏元件电阻和电容分量的实用方法    应皆荣,万春荣,何培炯

氧化锌颗粒膜电阻响应-恢复特性研究    刘延辉;谢长生;曾大文;周细应;

大气开放式MOCVD方法制备ZnO薄膜的气敏特性研究    沈敬亭;张跃;

静电自组装纳米复合薄膜研究    余海湖

纳米In_2O_3气敏性能及其气敏机理研究    詹自力

铁酸盐复合氧化物（MFe_2O_4）系列气敏材料的制备及新型气体传感器的研究    杨留方

ZnO纳米颗粒气敏性能的研究    汤会香

氧化物半导体纳米结构制备及其电子场发射特性研究    张永胜

氧化物多孔纳米固体气敏传感器的研究    徐红燕

SnO_2一维纳米材料的制备、表征以及特性研究    赵鹤云

纳米ZnO基气敏元件制备及在易燃、易爆物检测中的应用研究    桂阳海

高分子电阻型薄膜湿度传感器——元件构造、老化机理、感湿机理探讨    刘若望

SnO_2-TiO_2复合体系纳米粉和薄膜制备及其湿敏特性的研究    陈旭

基于MEMS技术的氧气微传感器机理研究与设计    颜黄苹

聚电解质电阻型湿敏材料及薄膜湿度传感器    佘勇

基于非线性模式识别的电子鼻技术在苹果分类中的应用    潘胤飞

平面旁热式甲烷气敏元件的研制    王利伟

二氧化锡基硫化氢气敏材料的改性研究    胡盛华

管状ZnO材料自组织可控生长及光电性能的研究    周小燕

不同形貌纳米α-Fe_2O_3及其杂化薄膜的制备与气敏性研究    李强

熔体燃烧合成法制备纳米ZnO粉体及其性能研究    程永亮

Zn掺杂对SnO_2纳米线的气敏性能的影响    曹磊;范新会;于灵敏;严文;

气体传感器的分类和应用    王胜权;张劲;刘小旭;

    

    

    

    

    

    

    

    

基于IC工艺申醛气体传感器的研究    张鹏;王兢;杜鹏;

球形纳米In_2O_3材料气敏元件制作及对甲醛气敏性能的研究    陈星如;王兢;姚朋军;

半导体CO_2传感器的研制    高胜国;杜为民;尚中锋;钟克创;张小水;

掺杂改善SnO_2甲醛气敏元件灵敏度特性的研究    王兢;包化成;姚朋军;吴娜;

氧化钛锡复合纳米粉的制备及其气敏性    宋文龙;郑聚成;陈高峰;何芳远;林志东;

纳米半导体电容型CO_2气体敏感元件研制    廖波;张捷;韦钦;

硅基微结构气体传感器的研制    刘丽

金属氧化物气敏元件阵列的制备与性能研究    柏自奎

氧化物多孔纳米固体气敏传感器的研究    徐红燕

微笔—激光复合直写厚膜传感器的关键技术研究    蔡志祥

纳米二氧化锡气敏薄膜的研究    甘露

氧化物半导体纳米纤维的制备及其在气体传感器领域的应用研究    范会涛

催化燃烧式气敏元件测试分选系统硬件设计    唐才荣

基于霍耳效应的气敏传感器的研制    林金阳

用富集方法提高气敏元件对甲醛的响应    刘丽

SnO_2甲烷气体传感器的优化设计与试制    宋毅华

纳米晶金属氧化物半导体气体传感器及其检测特性研究    张洪

平面旁热式甲烷气敏元件的研制    王利伟

聚吡咯及其复合材料的薄膜制备和氨敏性质研究    张伟伟

基于塞贝克效应的气敏传感器的研制    余华梁

气体传感器测试系统    刘年丰

新型微结构气体传感器设计分析及乙醇气敏元件的研究    韩郁