甲烷浓度对CVD金刚石膜表面粗糙度的影响

【摘要】：研究了化学气相沉积金刚石膜时甲烷浓度与金刚石膜表面粗糙度的关系。结果表明 ,随甲烷浓度的增加金刚石膜表面粗糙度下降。表面粗糙度主要由金刚石膜的晶粒大小和二次形核决定 ,晶粒越细 ,表面粗糙度越低。在金刚石晶界二次形核及长大 ,也促使金刚石膜表面粗糙度降低。 【作者单位】： 韶关学院机电系 华南理工大学机械工程学院 华南理工大学机械工程学院
【关键词】： 化学气相沉积 金刚石膜 甲烷 粗糙度
【基金】：国家教委博士点基金项目 ( 19990 5 612 1) 广东省自然科学基金项目 ( 990 5 48)
【分类号】：TB43
【正文快照】： 影响化学气相沉积(CVD)金刚石膜的因素很多,其中表面粗糙度就是一个重要因素。F .Silva[1] 和I .U .Hassan[2 ] 等研究认为金刚石的形核密度和二次形核直接影响金刚石表面的粗糙度。本研究采用热解丝设备研究了甲烷浓度对其表面粗糙度的影响。1　试验方法采用自制的热解CVD装

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