氦中四氟甲烷、氧化亚氮和六氟化硫混合气体标准物质的研制

【摘要】：论述了氦中四氟甲烷、氧化亚氮和六氟化硫混合气体标准物质的制备方法、性能考察、不确定度计算,经与国内外同类标准物质比较,证明量值准确可靠、方法可行。 【作者单位】： 中国石油西南油气田分公司成都天然气化工总厂
【关键词】： 氦 四氟甲烷 氧化亚氮 六氟化硫 混合气体 标准物质 不确定度 比对分析
【分类号】：TQ117
【正文快照】： 1前言在微电子、光电子器件生产过程中,从芯片的生长到最后器件的封装,其外延、成膜、掺杂、蚀刻、清洗等工序都离不开电子气体。而电子气体的质量在很大程度上决定了半导体器件性能的好坏,因此对所用电子气体的质量进行控制显得尤为重要[1]。为了分析含氟系列电子气体,需使

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