首页 > 学术论文

氦中四氟甲烷、氧化亚氮和六氟化硫混合气体标准物质的研制

来源:论文学术网
时间:2024-08-18 19:43:21
热度:

氦中四氟甲烷、氧化亚氮和六氟化硫混合气体标准物质的研制【摘要】:论述了氦中四氟甲烷、氧化亚氮和六氟化硫混合气体标准物质的制备方法、性能考察、不确定度计算,经与国内外同类标准物质比较

【摘要】:论述了氦中四氟甲烷、氧化亚氮和六氟化硫混合气体标准物质的制备方法、性能考察、不确定度计算,经与国内外同类标准物质比较,证明量值准确可靠、方法可行。 【作者单位】: 中国石油西南油气田分公司成都天然气化工总厂
【关键词】 四氟甲烷 氧化亚氮 六氟化硫 混合气体 标准物质 不确定度 比对分析
【分类号】:TQ117
【正文快照】: 1前言在微电子、光电子器件生产过程中,从芯片的生长到最后器件的封装,其外延、成膜、掺杂、蚀刻、清洗等工序都离不开电子气体。而电子气体的质量在很大程度上决定了半导体器件性能的好坏,因此对所用电子气体的质量进行控制显得尤为重要[1]。为了分析含氟系列电子气体,需使

您可以在本站搜索以下学术论文文献来了解更多相关内容

中国电子气体的现状及发展走向    孙福楠,韩美,陈晓惠,王秋娥,林刚,田波,梁玉

火药爆热热量计检定用标准物质的研制    赵宏立;李强;

铅蓄电池用铅钙合金直读光谱标准物质的研制    焦福溪,刘颂禹,张维维,庄雅静

标准物质量值溯源性的理解和应用    李纪辰

江苏省地市级尿碘实验室检测能力现状分析    何颖霞,赵金扣,王培桦,张庆兰

标准物质在碘缺乏病监测中的作用    叶平,刘源,翟丽屏,边建朝

牛血清氟成份标准物质协同定值数据的统计处理    叶平,边建朝,刘源,杨瑞康

标准物质的作用及其应用    王方国,杨丹

海水中砷标准物质的研制    吕海燕,刘琬镗

海水中硒标准物质的研制    刘琬镗,吕海燕

中国地质标准物质的研制与应用    高玉淑,王晓红,王毅民

微米级固体颗粒度标准物质系列的研制    吴立敏;王晓艳;

石油地质实验室量值溯源工作的思考与建议    程仙梅;潘昊;杨明杰;张作祥;

锡冶金标准样品研制及在分析测试中的应用    张红玲;海兰;

NDA核标准样品研制中质量控制的一些关键技术研究    王兴尧

ICP-MS分析铀中痕量硼方法研究    姚继军

含不同结晶度聚乙烯标准物质的制备研究    贾昧

防老剂D与BHT标准物质的研制及橡胶热氧老化研究    胡小锋

高铝锌基合金成份分析协议的建立    付强

混合式K边界技术在Purex流程中的应用研究    许小明

N-苯基-β-萘胺标准物质的制备及其研究    陈青

防老剂BHT标准物质的制备及研究    包德君

油菜籽中有机磷农药多残留分析方法研究    王桂才

合金铸铁光谱分析用国家标准样品的研制    于媛君

猪粪化肥配施对小麦根际微区养分的空间效应    黎阳燕

几种SF_6混合气体的耐电强度及分析    肖登明

六氟化硫灭弧后所产生气体的危害与预防    赵荒

我国工业六氟化硫纯化技术近况及改进    王景儒

高纯六氟化硫研制成功    王家录;

六氟化硫代替“Halon”1301作灭火剂    童;

活性炭吸附剂在六氟化硫生产中的应用    崔武孝,刘永生,阎晓东

六氟化硫灭弧后气体的危害与预防    刘晶

六氟化硫替代哈龙作灭火剂的可行性及其前景    刘永生;

气相色谱法测定空气中的六氟化硫    宋新魁,关世忠

六氟化硫有毒气体的产生及防护    姚力

间歇投药法在SIROCIRC~(TM)熏蒸系统的应用研究    刘伟;

混合气体红外光谱数据融合的SVM方法研究    肖蕾;白鹏;张喜斌;谢文俊;刘君华;

氧化亚氮(N_2O)戒除尼古丁依赖疗效及安全性的观察    李俊;孙德海;纪春梅;马丽艳;李淑丽;姜长林;

LW23-363型六氟化硫罐式断路器    王建西;杨夙峰;尹茂华;陈国平;

六氟化硫罐式无间隙金属氧化物避雷器的研究    王佰成;曹生顺;

非蒸散型吸气剂对混合气体的抽气行为研究    蒋迪奎;陈丽萍;

含He钛膜的透射电镜研究    于洪波;刘实;胡魁义;王隆保;戎利建;

CF_4/Ar混合气体放电特性的数值模拟    毕振华;戴忠玲;徐翔;李志成;王友年;

磁控溅射方法制备含氦钛膜及氦的热解吸研究    郑华;刘实;于洪波;王隆保;施力群;刘超卓;

D_2/Ne混合气体充气工艺    张占文;李波;王朝阳;杜守德;陈素芬;师涛;

安徽电科院六氟化硫实验室揭牌    徐尧 谢发志

宁夏公司循环利用六氟化硫显成效    记者 杨晓东 通讯员 汪斌

天脊将建成中国最大氧化亚氮减排企业    特约记者 王爱军

回收六氟化硫 实现循环利用    刘英卫仲世强 祁炯 苏滇西 范明豪

吸点氧化亚氮生孩子时不痛    湘江

黎明院领军六氟化硫市场    王飞 牛学坤

电气发展拉动六氟化硫需求    孟晖

天脊集团成为最大氧化亚氮减排企业    王爱军

山西天脊集团将成为中国最大氧化亚氮减排企业    刘宇 王爱军

六氟化硫气体的循环利用进入新阶段    金文龙王柏臣

中国近海部分海域溶解甲烷和氧化亚氮的生物地球化学研究    张桂玲

焦炭流化床燃烧条件下氧化亚氮生成机理的实验研究    任维

大气CO_2浓度升高对稻—麦轮作农田温室气体排放影响的研究    徐仲均

基于随机共振和定向多壁纳米碳管气敏传感器阵列的SF_6气体检测系统的研究    惠国华

南大洋表层海洋和底层大气中N_2O的分布特征及其海气交换通量研究    詹力扬

煤对CH_4、CO_2、N_2及其二元混合气体吸附特性、预测和CO_2驱替CH_4的研究    于洪观

川中丘陵区农田生态系统主要温室气体排放研究    江长胜

生态土壤系统对生活污水的处理效能及氮循环过程研究    王延华

紫外辐射增强对农田生态系统温室气体排放的影响    胡正华

热式气体质量流量测量及补偿算法研究    张世荣

氧化亚氮喷嘴流动过程与流量特性研究    吴里银

六氟化硫开关微水含量在线监测系统研究    罗飞

SF_6、N_2和合成空气中绝缘子沿面闪络性能的研究    成俊奇

大气中的稀土元素及稀土农用对温室气体排放的影响    王章玮

笑气镇痛对产妇泌乳影响的研究    丛芙蓉

氧化亚氮对七氟醚吸入浓度的影响    李云峰

设施栽培土壤氧化亚氮(N_2O)释放和甲烷(CH_4)氧化及其微生物学机理的研究    张光亚

七氟丙烷(FM-200)气体灭火系统工程设计参数及计算方法的研究    张玉贤

改性尿素对农田温室气体排放的影响    荆瑞勇

华北平原典型农田土壤及作物氧化亚氮通量特征    叶欣

Baidu
map