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低功耗甲烷气敏元件的制备及气敏性能研究

来源:论文学术网
时间:2024-08-18 19:37:28
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低功耗甲烷气敏元件的制备及气敏性能研究【摘要】:甲烷气体通常需要在较高的工作温度下工作,要达到这个工作温度区间,元件体电阻越大,功耗也就越大;要降低功耗,就要降低元件体电阻。本文所

【摘要】:甲烷气体通常需要在较高的工作温度下工作,要达到这个工作温度区间,元件体电阻越大,功耗也就越大;要降低功耗,就要降低元件体电阻。本文所述元件是在SnO2敏感膜材料中掺入Pd, Sb2O3,Al2O3等添加剂,制成微珠式元件,从而大大降低了元件的体电阻,设计出一种低功耗CH4气敏元件。此种元件在低于150 mW的加热功率下,在5000×10-6的CH4气氛中灵敏度可达到3以上,响应时间小于10 s,且具有良好的选择性和稳定性。 【作者单位】: 郑州炜盛电子科技有限公司 中国民航郑州空中交通管理中心 郑州炜盛电子科技有限公司 郑州炜盛电子科技有限公司
【关键词】甲烷 低功耗 气敏元件
【分类号】:TP212
【正文快照】: 0引言Sno:是氧化物半导体敏感材料中应用最多、最广的一种,对多种气体具有敏感性[lj,目前对Sn姚气敏元件的研究比较深人。本元件选用Sn():作主材料,是因为SnO:半导体作敏感材料制作的气敏元件,与其它类型气敏元件相比,具有以下特点川: 1)sn02材料的物理、化学稳定性好,

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