非晶/微晶相变域硅薄膜及其太阳能电池

【摘要】：采用甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF_PECVD)法,成功制备出从非晶到微晶过渡区域的硅薄膜.样品的微结构、光电特性及光致变化的测量结果表明这些处于相变域的硅薄膜兼具非晶硅优良的光电性质和微晶硅的稳定性.用这种两相结构的材料作为本征层制备了p_i_n太阳能电池,并测量了其稳定性.结果在AM1.5(100mW cm2)的光强下曝光800—5000min后,开路电压略有升高,转换效率仅衰退了2.9%. 【作者单位】： 中国科学院半导体研究所表面物理国家重点实验室 凝聚态物理中心 中国科学院半导体研究所表面物理国家重点实验室 凝聚态物理中心 中国科学院半导体研究所表面物理国家重点实验室 凝聚态物理中心 中国科学院半导体研究所表面物理国家重点实验室 凝聚态物理中心 中国科学院半导体研究所表面物理国家重点实验室 凝聚态物理中心 中国科学院半导体研究所表面物理国家重点实验室 凝聚态物理中心
【关键词】： 相变域硅薄膜 光电特性 太阳能电池
【基金】：国家重点基础研究发展规划项目(批准号:G2000028201)资助的课题.~~
【分类号】：O471;TM914.4
【正文快照】： 1.引言非晶硅薄膜具有低温工艺、耗材少、便于大面积制备及高光敏性等优点,已被广泛应用于光伏领域.但SW效应[1]一直是制约其发展的一个重要障碍.一般认为非晶硅的光致衰退与其无规网络结构有关,因此要想消除亚稳变化就必须改善薄膜的无规网络结构.这种结构的改善最终将导致

您可以在本站搜索以下学术论文文献来了解更多相关内容

Study of stability for a-Si:H thin film solar cells on polyimide substrates    Liying Hana,b , Dexian Zhangb, Ke Taob, Qiang Xib, Hongkun Caib, Cunshan Zhanga, Hongdong Zhaoa a. School of Information Engineering, Hebei University of Technology, Tianjin 300401, China. b. College of Information Technical Science, Nankai University. Tianjin 300071, China.

多孔硅基功能薄膜的研究    刘光友

两个介电函数模型的用法(英文)    陈红;沈文忠;

氢化非晶硅薄膜红外透射谱与氢含量    胡跃辉,陈光华,吴越颖,阴生毅,高卓,王青,宋雪梅,邓金祥

氢化非晶硅的红外光谱及氢释放的研究    李牧菊,杨柏梁,朱永福,袁剑峰,刘传珍,廖燕平,吴渊

CCD光栅光谱仪与光谱分析    王兴莲,汪尊伟

高浓乳液聚合法制备单分散聚苯乙烯胶乳反应机理研究    罗时忠,胡文芳,张文敏

纳米硅二极管的独特性能    何宇亮

聚酰亚胺在MEMS中的特性研究及应用    邓俊泳,冯勇建

等离子体化学气相沉积非晶SiO_x∶H(0≤x≤2.0)薄膜的红外光谱    何乐年

电化学脉冲腐蚀法制备窄峰发射的多孔硅微腔    徐少辉,熊祖洪,顾岚岚,柳毅,丁训民,侯晓远

Cu(In,Ga)Se_2材料成分对其电池性能的影响    刘芳芳,何青,李凤岩,敖建平,孙国忠,周志强,孙云

有机电致发光器件设计与制作    陈文彬

溅射沉积氢化非晶硅中辉光放电等离子体的Langmuir探针诊断    李洪涛;蒋百灵;杨波;曹政;郭维华;焦栋茂;

    

    

    

    

    

    

    

    

    

衬底温度对磁控溅射硅薄膜结构性能的影响    田桂;朱嘉琦;韩杰才;贾泽纯;姜春竹;

等离子增强化学气相沉积制备氧化硅薄膜的质谱诊断研究    张军峰;陈强;张跃飞;刘福平;刘忠伟;

PECVD法低温沉积高阻隔SiOx薄膜    孙运金;桑利军;陈强;张军峰;张跃飞;

可调亲、疏水性的SiO_x薄膜等离子体制备    周振;陈强;刘福平;任兆杏;

非晶碳化硅薄膜和非晶——硅薄膜的拉曼散射研究    李国华;陶明德;谭辉;曲凤钦;韩英;

化学气相沉积硅基薄膜的性能及机理研究    宋雪梅

掺铒硅基薄膜的纳米结构与发光动力学研究    肖志松

基于纳米结构的场致电子发射研究    郁可

热丝化学气相沉积制备硅薄膜及其性能研究    刘滨

硅薄膜微结构及悬挂键缺陷研究    黄香平

氮化硅薄膜的螺旋波PECVD及其光学特性研究    侯海虹

介质阻挡放电增强热丝CVD沉积硅薄膜的研究    张春丽

锰（铁）硅薄膜微结构研究    王佳乐

纳米复合掺杂氧化硅薄膜的光电特性及机理研究    陈海霞

HWCVD系统中沉积参数对Si：H薄膜结晶性的影响    章山山

飞秒激光辐照下硅纳米薄膜中的超快能量输运研究    刘国栋

平场输出蚀刻衍射光栅波分复用器的设计模拟和器件工艺制作    娄丽芳

超薄介质膜热扩散率的测试研究    宁金辉