电子束蒸发太阳能电池窗口层ZnO薄膜

【摘要】：用电子束蒸发法在玻璃基片上制备太阳能电池窗口层ZnO薄膜,并在氧气环境下对其在400~500℃的温度下退火1 h.通过X射线衍射、电镜扫描、透过率光谱等手段测试和分析所制备的薄膜,结果表明:当薄膜未经过热处理时,薄膜中含有大量的单质锌;当薄膜经过400℃退火后,薄膜逐渐结晶,并且其物相成分基本是ZnO;当退火温度逐渐升高到500℃时,晶粒长大,晶化程度提高,对可见光和近红外光的透过率也增大,平均值可达90%,此时所制备出的ZnO薄膜适合于作为太阳能电池的窗口层. 【作者单位】： 福州大学电子科学与应用物理系 福州大学电子科学与应用物理系 福州大学电子科学与应用物理系
【关键词】： ZnO薄膜 电子束蒸发 退火
【基金】：福建省教育厅科技计划项目(JB05062,JB05063)
【分类号】：TM914.4
【正文快照】： 0引言优质的ZnO薄膜具有c轴择优取向生长,室温下其禁带宽度约为3·3 eV,是典型的直接带隙宽带半导体.其薄膜在可见光波段透射率可达90%,电阻率可降至10-7Ω·m,是一种理想的透明导电薄膜.ZnO薄膜在透明导体、发光元件、太阳能电池窗口材料、光波导器、单色场发射显示材料、高

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