还原炉钟罩镜面抛光对多晶硅生产节能的影响

【摘要】：采取机械抛光与电化学抛光相结合的方法,对多晶硅生产用还原炉钟罩内壁进行修复处理,在保证还原炉内壁表面较好粗糙度的基础上,提高其抗腐蚀能力,以达到最好的抛光效果。抛光后大大提高了电子级多晶硅生产的节电率,缩短了生产周期,降低了运行成本,节能效果显著。 【作者单位】： 黄河水电光伏产业技术有限公司;青海黄河水电公司新能源分公司;上海脉诺金属表面处理技术有限公司;
【关键词】： 还原炉 钟罩 镜面抛光 多晶硅 生产 节能
【分类号】：TQ127.2
【正文快照】： 还原炉作为多晶硅生产中最重要的设备之一,是整个多晶硅生产系统的“心脏”部件,也是影响实际产量最核心的工艺环节,生产出来的多晶硅质量的优劣完全取决于它[1]。当然它也是最主要的能耗工艺环节,还原炉电耗占多晶硅生产综合电耗的60%~70%,占综合生产成本的25%~35%。针对这样

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