田口方法在太阳能电池刻蚀工序中的应用

【摘要】：正田口方法是日本著名质量工程学家田口玄一博士于20世纪70年代所创立的新的优化设计技术,广泛应用于技术开发、产品开发以及工艺开发等。1985年,由韩之俊等人将田口方法引入我国,并且首先应用于我国国防工业领域,对于提高产品研制质量、缩短产品研制周期、节省产品研制费用发挥了很大作用。本文介绍的是在太阳能电池刻蚀工序中运用田口方法优选工艺参数的一个实例。 【作者单位】：
【关键词】： 田口方法 太阳能电池 并联电阻 刻蚀 放电时间 转化效率 试验方案 优选工艺参数 优选方案 功率和
【分类号】：TM914.4
【正文快照】： 田口方法是日本著名质量工程学家田口玄一博士于20世纪70年代所创立的新的优化设计技术，广泛应用于技术开发、产品开发以及工艺开发等。1985年，由韩之俊等人将田口方法引人我国，并且首先应用于我国国防工业领域，对于提高产品研制质量、缩短产品研制周期、节省产品研制费

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