太阳能电池制绒设备研究的几点心得

【摘要】：着重对太阳能电池制绒工艺的研究进行了阐述,并以研究所得的工艺数据为基础,对制绒设备的关键部件——工艺槽体的设计进行了详细说明,保证所研发的最终设备满足了大规模生产线对制绒设备的需要。 【作者单位】： 北京七星华创电子股份有限公司微电子设备分公司 北京七星华创电子股份有限公司微电子设备分公司
【关键词】： 太阳电池 单晶硅 制绒
【分类号】：TM914.4
【正文快照】： 1引言清洗设备在整个太阳能电池生产线上起到至关重要的作用。主要可以分为:扩散前的制绒、酸洗,磷硅玻璃(PSG)的湿法腐蚀、漂洗等几类。我公司所提供的产品囊括了上述环节的所有类型的清洗设备,完全可以满足各个环节的工艺要求。本文将着重就制绒设备研究过程中的几个重要问

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