ITO/BZO复合薄膜制备及在非晶硅薄膜太阳能电池的应用

【摘要】：采用低压化学气相沉积(LPCVD)法在沉积ITO薄膜的玻璃衬底上制备了硼掺杂氧化锌(BZO)薄膜,研究了ITO缓冲层对ITO/BZO复合薄膜表观形貌、导电性能和光学性能的影响;并研究了ITO/BZO薄膜在非晶硅薄膜太阳能电池的应用。结果表明,以ITO作为缓冲层来沉积BZO薄膜,有利于BZO晶粒尺寸的长大,并可以显著提高BZO薄膜的导电能力。ITO/BZO复合薄膜具有相对较高的导电能力和光学透光率,应用在非晶硅薄膜太阳能电池时转化效率提高0.20%。 【作者单位】： 湖南理工职业技术学院太阳能工程系;湖南共创光伏科技有限公司;
【关键词】： 透明导电氧化物 硼掺杂氧化锌 复合薄膜 低压化学沉积 非晶硅薄膜太阳能电池
【基金】：2014年教育厅科学研究项目(14C0534)
【分类号】：O484.1;TM914.42
【正文快照】： (Received 26 Ocotber 2015,accepted 30 November 2015)1引言近年来,透明导电氧化物(TCO)作为前电极透明导电材料在薄膜太阳能电池[1-3]、异质结太阳能电池[4]、染料敏化太阳能电池[5]及有机太阳能电池[6]中得到了广泛研究和应用。作为前电极结构,TCO必须具有高的导电能力和

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