基于MEMS可编程光栅检测甲烷的研究

【摘要】：介绍了基于微机电系统(MEMS)技术的微型可编程光栅的光学特性。分析了可通过对可编程光栅编程状态的预先设定,使其衍射输出对应于不同目标物质的光谱。提出了一种全新的基于微型可编程光栅的相关光谱法检测甲烷的方法。通过实验表明:该法不仅可对多种气体成分进行检测,且有很高的检测精度,并具备传统检测方法无法比拟的优点。 【作者单位】： 辽宁工程技术大学电气与控制工程学院;
【关键词】： 微机电系统 可编程光栅 模拟光谱 相关光谱 甲烷
【基金】：辽宁省高校创新团队项目计划基金资助项目(2007T074)
【分类号】：TP212.14
【正文快照】： 0引言甲烷作为重要的易燃、易爆气体,是许多工矿企业产生或消耗气体混合物的主要成分[1],对它实现全光学可靠遥测和监控有重要意义。目前,基于光学和光谱学的气体监测技术(代表技术有差分吸收光谱技术[2]和相关光谱技术[3]),因其具有不易受干扰、灵敏度高、响应速度快等特性

您可以在本站搜索以下学术论文文献来了解更多相关内容

相关光谱法在光纤气体传感中的应用    付松年,苏立国,吴重庆,董小鹏

微型可编程光栅光谱模拟特性及其应用研究    安飞;苑伟政;乔大勇;秦冲;

微光机电系统(MOEMS)研究综述    付博,赵月月

可编程相位光栅的结构设计与制作工艺    殷玲,陈非凡

可编程相位光栅结构的微机械特性研究    殷玲,陈非凡

高信噪比电容式微机械陀螺的研究    李锦明

大气监测光纤气体传感器的研究    肖韶荣

飞秒激光加工微光学器件若干关键问题研究    龚小竞

高速多测点甲烷浓度网络监测系统的研制    刘宏林

光纤甲烷传感技术研究    刘晓冬

煤矿瓦斯多通道光纤传感检测仪的研究与开发    李政颖

用于煤矿瓦斯探测的光纤传感器的研究    李猛

基于多Agent系统的光纤瓦斯传感监测研究    邱俊

新型全量程甲烷检测仪的研究与设计    陈永占

红外光谱吸收型光纤一氧化碳传感器的研究    田卡丽

可调谐激光瓦斯浓度检测系统的设计与实现    李勇

光谱吸收光纤气体传感技术探讨    邓广福;刘光达;田磊;孟磊;朱平;

光纤气体传感器研究进展    李瑛,杨集,冯士维

气体传感器及其发展    潘小青,刘庆成

光纤气体传感机理研究    冯金垣,陈先红,孙登奎,袁思彤

光纤传感器在煤矿井壁安全检测中的应用    朱宗玖,程桦,臧东亮

光纤气体传感技术及其应用    郭铁梁

直梁结构光栅光调制器的机电特性分析与实验    金珠;温志渝;张智海;黄尚廉;

COMSOL Multiphysics推动铸造技术商业化革新    

虚拟训练动作获取系统软件设计    李伟;景占荣;张继光;黄爱萍;

含大规模端口的MEMS宏模型提取及角度参数化    徐景辉;苑伟政;常洪龙;虞益挺;马炳和;

基于SRAM光栅光调制器阵列控制系统电路的研究    金珠;温志渝;张智海;黄尚廉;

面向精密制造的微材料特性检测机构    陆震;陈学东;何广平;

MEMS氮化钛谐振式压力传感器研究    杨川;郭灿;

《微机电系统》课程教学方法的探讨    龙芋宏;

微悬臂梁生物传感器及其在生物医学领域的应用    续飞;秦红勇;侯沧;

静电排斥驱动六边形MEMS微镜(英文)    胡放荣;王爱娜;邱传凯;姚军;

微型聚合酶链式反应仪综述    王冬;冯继宏;

超弹性NiTi合金在球形压痕下的临界载荷分析    阚前华;康国政;

MEMS旋转机械微转子结构的材料选用研究    张文明;孟光;

MEMS惯性器件的新进展及应用    徐爱东;杨拥军;卢新艳;

微机电系统中的粗糙面效应    方文啸;黄钦文;刘欣;

应变梯度微梁的有限元法    赵俊峰;周慎杰;王炳雷;王锡平;

硅微谐振式加速度计固有谐振频率的提高方法研究    曹宇;董景新;胡淏;

MEMS传感器在汽车电子上的应用研究与展望    陈述官;黄军辉;

MEMS惯性器件的新进展及应用    徐爱东;杨拥军;卢新艳;

单晶硅电容式低频传声器的设计和制作    何庆;索智群;乔东海;

科学家研制出可自我校准的微机电系统    陈丹

昆仑燃气节能减排迈出重要一步 将逐步推广全电子智能流量计    光春

经济开发区——四个项目签约4.68亿    记者 王远洋　通讯员 芦兴华

昆仑燃气节能减排迈出重要一步 将逐步推广全电子智能流量计    光春

经济开发区——四个项目签约4.68亿    记者 王远洋　通讯员 芦兴华

昆仑燃气节能减排迈出重要一步 将逐步推广全电子智能流量计    光春

经济开发区——四个项目签约4.68亿    记者 王远洋　通讯员 芦兴华

昆仑燃气节能减排迈出重要一步 将逐步推广全电子智能流量计    光春

经济开发区——四个项目签约4.68亿    记者 王远洋　通讯员 芦兴华

昆仑燃气节能减排迈出重要一步 将逐步推广全电子智能流量计    光春

微机电系统自聚焦压电声学换能器    祝捷

车载组合导航系统关键技术研究    夏全喜

微尺度下结构的静动力学行为研究    尹莉

激光—微笔/微喷直写集成制造MEMS微结构关键技术研究    曹宇

MEMS惯性器件参数辨识及系统误差补偿技术    何昆鹏

微梁力学性能尺寸效应的研究    孔胜利

抗磁悬浮转子式微器件的相关技术研究    刘武

非接触式微量生物试剂分配技术及系统研究    刘亚欣

压电工作台微定位系统建模与控制技术    张栋

微型转子轴承系统动力学问题研究    周健斌

脑电信号采集干电极阵列研究    吴澄

新型电热微驱动器与双稳态机构的研究    王娟

面向精化的表面微加工MEMS几何和工艺建模研究    赵晓霞

基于LabVIEW的静电悬浮微陀螺在环仿真系统研究    秦奎

声表面波微驱动器及其应用    张冠

微结构掩膜电铸均匀性研究    陈晖

惯性运动捕捉前端设备研究与设计    周冬鑫

基于SU-8厚胶工艺的SAR型微混合器设计及实验研究    赵新泊

机电集成静电行星电机动力学研究    张岩岩

振动式微机械陀螺数字信号处理系统及其实现    史元