甲烷浓度对金刚石薄膜质量的影响

【摘要】：纳米金刚石薄膜具有优异的性能,已在多个领域获得广泛应用。但微波等离子体化学气相沉积制备的金刚石薄膜质量却严重受沉积工艺的影响,为了深入了解沉积工艺对制备的金刚石薄膜质量的影响,本文详细研究了甲烷浓度对微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)金刚石薄膜质量的影响,利用扫描电镜、X射线衍射、拉曼光谱以及原子力显微镜对其进行结构表征,分析了甲烷浓度对所制备的金刚石薄膜质量的影响规律。 【作者单位】： 郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室;
【关键词】： 金刚石薄膜 化学气相沉积 沉积工艺
【基金】：国家自然科学基金项目(No.61076041,50702051) 河南省科技攻关项目(No.0624250014) 郑州大学校内培育基金项目
【分类号】：TB43
【正文快照】： 金刚石具有诸多优异的力、热、光、电等性质,同时也具有优良的化学惰性,很好的热稳定性等,在机械、光学、电子学及声学等领域有着广阔的应用前景[1],但是由于其数量稀少且价格昂贵,因而在现实中其应用是十分有限的。上个世纪八十年代初苏联的Spitsyn和日本的Matsumoto等人发

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