超薄太阳能硅片线切割工艺中悬浮液特性研究

【摘要】：对硅片线切割工艺中悬浮液特性进行了理论与实验分析.测绘了悬浮液的粘度与温度特性曲线和pH值与温度特性曲线,为硅片的线切割工艺优化提供了理论和实验依据。 【作者单位】： 河北工业大学化工学院;河北工业大学信息功能材料研究所;
【关键词】： 悬浮液 粘度变化 pH值 温度 硅片 切割前沿 线切割机 太阳能 切割工艺 降温过程
【分类号】：TM914.4
【正文快照】： 0引言多线切割机(Multi一Wire Saw，简称线锯)以极高的生产效率和出片率广泛应用在超薄大直径太阳能硅片加工领域。硅片在太阳电池的成本中几乎占了印%，所以利用线切割设备的先进工艺和技术特性来降低硅片成本、节约原材料、提高生产效率已成为该领域目前关注的焦点。切割过

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