MPCVD等离子体中甲烷体积分数对基团分布的影响

【摘要】：等离子体发射光谱学是探究等离子体参数、等离子体基团分布的有效工具。利用发射光谱技术对CH4/H2微波等离子体进行原位在线测量,研究了微波等离子体气相沉积过程中等离子体内部的基团种类以及甲烷体积分数对等离子体中各基团谱线强度的影响,测量分析了等离子体中各基团的空间分布以及甲烷体积分数对空间分布的影响。结果表明,C2基团的发射光谱强度随甲烷体积分数的升高而迅速增强,CH、Hβ、Hγ与C2相对强度的比值随甲烷体积分数的增加而降低,并逐步趋于饱和;各基团空间分布的均匀性随甲烷体积分数的增加而变差。 【作者单位】： 武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室;
【关键词】： 光谱学 发射光谱学 化学气相沉积法 CH/H微波等离子体
【基金】：国家自然科学基金(10875093)资助项目
【分类号】：O53
【正文快照】： 1引言金刚石在热学、力学和光学等领域的优良性能吸引了很多国内外专家的研究兴趣。目前在众多的金刚石薄膜生长方法中,微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)有许多优点:无内部电极、可避免放电污染、运行气压范围宽、能量转换效率高和可产生高密度等离子体等。在MPCVD沉积金刚

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