甲烷压强对类金刚石薄膜结构与性能的影响

【摘要】：以氩气、氩气-甲烷为辅助气体,高纯石墨为靶材,采用脉冲非平衡磁控溅射技术制备了无定形碳膜(a—C)及氢化无定形碳膜(a—C∶H)。利用台阶仪、傅里叶红外光谱、Raman光谱、纳米压痕测试仪、椭偏仪对所制备类金刚石膜的沉积速率、结构、力学性能、折射率随甲烷气体含量的变化进行表征。结果表明:甲烷压强对类金刚石膜的结构与性能具有较大影响;类金刚石膜的沉积速率和键合氢的含量随着甲烷压强的增加而增加,但是薄膜中的sp3杂化碳的含量随着甲烷压强的增加而减小;类金刚石膜的纳米硬度和折射率均随甲烷压强的增加而减小。 【作者单位】： 郑州轻工业学院物理与电子工程学院;洛阳船舶材料研究所;
【关键词】： 类金刚石膜 甲烷压强 脉冲非平衡磁控溅射技术 结构 性能
【基金】：国家自然科学基金(11305142) 郑州市科技计划项目(131PPTGG411-10)
【分类号】：O484.1
【正文快照】： 无定形碳膜(a—C)及氢化无定形碳膜(a—C∶H)统称为类金刚石膜。类金刚石膜是一种非晶态碳膜,主要由sp2杂化键(石墨)和sp3杂化键(金刚石)组成。该膜具有一系列优异的综合性能,如较高的力学硬度和弹性模量、较低的摩擦因数、较好的耐磨性、较高的电阻率、在可见及红外波段具有

您可以在本站搜索以下学术论文文献来了解更多相关内容

热氧化温度对非平衡磁控溅射TiN镀层的影响    梁戈;白力静;蒋百灵;

溅射压力对Ni纳米颗粒形貌控制的影响    崔海蓉;

不同方法制备的类金刚石薄膜的XPS和Raman光谱的研究    杨发展;王世庆;沈丽如;陈庆川;

全方位离子注入与沉积类金刚石碳膜的结构与性能    刘洪喜;蒋业华;周荣;汤宝寅;

基于同步信号的多路延时IGBT驱动电路设计    石经纬;巩春志;张可心;田修波;杨士勤;

用于等离子体离子辐照的新型阶梯型脉冲高压电路研制    石经纬;田修波;巩春志;杨士勤;

沉积温度对射频磁控溅射TiN薄膜结构和表面形貌的影响    李兆营;公衍生;田永尚;江峰;张志龙;

复合改性处理对AZ91镁合金表面结构和耐蚀性能的影响    王铁旦;刘洪喜;林波;孟春蕾;蒋业华;周荣锋;

氮钛双离子注入AZ31镁合金的抗腐蚀和力学性能    刘洪喜;孟春蕾;林波;蒋业华;周荣锋;

射频磁控溅射制备类金刚石薄膜    梁志敏;翟建广;张锋;

孪生磁控溅射制备氮化铬涂层的研究    尹星;沈丽如;金凡亚;但敏;许泽金;

碳基薄膜的摩擦学性能及应用研究    凌晓

不同溅射方法薄膜制备的理论计算及特性研究    于贺

长波长WDM解复用光接收集成器件及其微结构制备工艺的研究    范鑫烨

Cr-V体系自润滑硬质涂层之研究    仇越秀

类金刚石膜应用于正畸托槽及弓丝生物学及摩擦性能的实验研究    黄世友

磁控共溅射制备无氢碳化锗薄膜的结构和性能研究    姜春竹

铁氧体耐高温磁控溅射金属化膜系及产业化关键问题的研究    沈小虎

新型固态化锂二次电池及相关材料的制备与性能研究    谭国强

基于双辉技术的钛合金表面抗高温氧化合金层的制备及性能研究    魏东博

H13钢表面PN+PECVD复合处理工艺及性能的研究    廖芳

单晶金刚石的研磨与化学机械抛光工艺    李强

石英晶体谐振器的无铅焊接研究    池旭明

镍掺杂类金刚石碳复合薄膜的制备及其功能特性研究    李松栗

Ti/Al沉积薄膜的微观结构及其特性的分子动力学研究    游晓燕

压力连接模具表面Cr基硬质薄膜的摩擦学性能研究    李航

类金刚石薄膜的制备及其在太赫兹频段光学性质的研究    郭金权

镁合金表面离子束复合形成Ti-Al-N薄膜研究    李根

玻璃真空镀膜生产线控制系统的研究和设计    田晓娟

反应磁控溅射制备Al-Cu-N涂层的结构及性能    郭军

TiN涂层高速钢刀具耐热性的研究    贾庆莲,周兰英,周焕雷

纳米镍粉的制备及其催化性能研究    谈玲华,李勤华,杨毅,李凤生,刘磊力,李敏

(Ti,Al)N梯度涂层高温氧化表面形貌分析    杨世伟,王福会,常铁军,冯长杰,李绍海

非平衡磁控溅射Ti掺杂类金刚石薄膜的基本特性    聂朝胤;谢红梅;杨娟;陈志谦;

用非平衡磁控溅射法制备CN_x薄膜    高鹏,刘传胜,吴大维,彭友贵,范湘军

反应时间对纳米镍的形貌和磁性能的影响    张磊;葛洪良;钟敏;

RFCVD法沉积类金刚石膜的研究    王益军,严诚

类金刚石膜的电子能谱(XAES,XPS)研究    杨伟毅

YBCO 膜上形成类金刚石膜研究    刘心田,刘兴海,陆惠秀,余榕,汤定元,余丙鲲

类金刚石膜的制备及应用    卫中山,左敦稳

真空阴极电弧沉积法沉积类金刚石膜的研究    袁镇海,谢致薇,罗广南,邓其森,郑健红,戴达煌,付志强

确定薄膜光学常数的一种新方法    徐均琪,刘梦夏,弥谦

类金刚石膜在ICF研究中的潜在应用    王雪敏;吴卫东;李盛印;白黎;唐永建;王锋;

KCl透镜上的类金刚石碳膜红外透射特性研究    姚合宝,贺庆丽,徐蓉,于明湘

红外高效增透膜镀类金刚石膜的特性研究    姜杰,李忠奇

类金刚石膜生长特性的分子动力学模拟    张宇军;董光能;毛军红;曾群峰;谢友柏;

掺硅类金刚石膜的研究进展    郭延龙;王淑云;杨雪;朱孟真;程勇;王会升;

含硅类金刚石膜的研究进展    刘璨;兰惠清;王洋;

激光沉积掺锗类金刚石膜实验研究    郭延龙;陆益敏;吴杰;黄国俊;王淑云;程勇;王会升;万强;

感应耦合等离子体源制备硬质类金刚石膜的研究    俞世吉;

脉冲激光沉积大面积均匀类金刚石膜新技术研究    杨雪;程勇;郭延龙;王会升;王淑云;朱孟真;米朝伟;

PET瓶内镀DLC薄膜的结构、成分研究    杨莉;付亚波;陈强;张跃飞;

类金刚石膜的性质、制备及应用研究    王青;戴剑锋;李维学;魏智强;

等离子辅助沉积DLC膜的结构和微摩擦磨损特性    王吉会;贺小明;路新春;温诗铸;

基底温度对α-C:H膜微观结构的影响    李钱陶;熊长新;杨长城;

介质阻挡放电制备类金刚石膜的研究    刘艳红

钛合金表面疏水的等离子体改性及其机理研究    马国佳

He（或Ar）+CH_4介质阻挡放电制备类金刚石膜的性能和沉积机理研究    李建

应用于微机电系统上的类金刚石膜制备    马国佳

硅掺杂-DLC硬盘保护膜的制备及等离子体诊断    陈小锰

PECVD生长类金刚石薄膜的电学性质研究    陈明文

类金刚石薄膜的制备和光学性质研究    赖起邦

磁过滤真空阴极弧等离子体制备四面体非晶碳膜    张成武

碳氮膜的生物相容性以及离子注入对聚丙烯材料的表面改性研究    牛丽芳

类金刚石薄膜的制备及光学性质研究    丁旭丽

中频非平衡磁控溅射制备DLC膜的工艺研究    姜辉

无氢类金刚石薄膜的制备及其摩擦学性能研究    刘建立