气体中微量一氧化碳、甲烷、二氧化碳的气相色谱分析

【摘要】：建立了甲烷转化气相色谱法测定气体中一氧化碳、甲烷、二氧化碳的分析方法。采用一阀两柱系统,氯气、氯化氢通过十通阀经柱Ⅰ(Hayesep Q)反吹出系统,一氧化碳、甲烷、二氧化碳通过柱Ⅱ(Porapak Q)进入氢火焰离子化检测器进行检测,通过外标法定量,结果表明该方法线性好,各组分的检出限分别为一氧化碳0.02×10-6(mol/mol)、甲烷0.05×10-6(mol/mol)、二氧化碳0.08×10-6(mol/mol)。该方法简便、准确、灵敏、重现好。 【作者单位】： 昆明冶研新材料股份有限公司;
【关键词】： 气相色谱 一氧化碳 甲烷 二氧化碳
【分类号】：O657.71
【正文快照】： 多晶硅生产中,氢气作为氢化和还原的原料,如果一氧化碳、二氧化碳含量高,将造成氢还原时硅在氧化的衬底上沉积产生多晶硅,而微量甲烷在高温条件下生产碳化硅微粒或引入碳原子,降低多晶硅质量[1]。为保证多晶硅质量,需严格控制作为原料的氢气、氮气、氯气、氯化氢气体中的碳含

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