硅片等级分类及标准

一、优等品 1：硅片表面光滑洁净。 2：TV：220±20μm。 3：几何尺寸： 边长125±0.5mm；对角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm； 边长103±0.5mm、对角135±0.5mm； 边长150±0.5mm 、156±0.5mm、对角203±0.5mm、200±0.5mm。 同心度：任意两个弧的弦长之差≤1mm。 垂直度：任意两边的夹角：90°±0.3。 二、合格品 一级品： 　　1：表面有少许污渍、轻微线痕。 　　2：220±20μm ≤TV≤220±30μm。 　　3：几何尺寸： 　　边长125±0.5mm；对角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm； 　　边长103±0.5mm、对角135±0.5mm； 　　边长150±0.5mm 、156±0.5mm、对角203±0.5mm、200±0.5mm。 　　同心度：任意两个弧的弦长之差≤1.2mm。 　　垂直度：任意两边的夹角：90°±0.5。 二级品： 　　1：表面有少许污渍、线痕、凹痕，轻微崩边。 　　2： 220±30μm ≤TV≤220±40μm。 　　3：凹痕：硅片表面凹痕之和≤30μm。 　　4：崩边范围：崩边口不是三角形状，崩边口长度≤1mm，深度≤0.5mm 　　5：几何尺寸： 　　边长125±0.52mm；对角150±0.52mm、148±0.52mm、165±0.52mm； 　　边长103±0.52mm、对角135±0.52mm； 　　边长150±0.52mm 、156±0.52mm、对角203±0.52mm、200±0.52mm。 　　同心度：任意两个弧的弦长之差≤1.5mm。 　　垂直度：任意两边的夹角：90°±0.8。 三极品： 　　1：表面有油污但硅片颜色不发黑，有线痕和硅落现象。 　　2：220±40μm ≤TV≤220±60μm。 　　3：硅落：整张硅片边缘硅晶脱落或部分硅晶脱落。 三、不合格品 　　严重线痕、厚薄片：TV＞220±60μm。 　　崩边片：有缺损但可以改Φ103的硅片。 　　气孔片：硅片中间有穿孔 。 　　外形片：切方滚圆未能磨出的硅片。 　　倒角片（同心度）：任意两个弧的弦长之差>1.5mm。 　　菱形片（垂直度）：任意两边的夹角>90°±0.8。 　　凹痕片：硅片两面凹痕之和＞30μm。 　　脏  片：硅片表面有严重污渍且发黄发黑。 　　尺寸偏差片：几何尺寸超过二级品的范围。 　　注：以上标准针对的硅片厚度为220μm。