MEMS（微机电系统）的常见应用领域

我们已经知道，「MEMS（微机电系统）传感器」是采用微电子和微机械加工技术生产出来的新型传感器。得益于在微米尺寸工作的特性，MEMS可以完成一些传统机械传感器所不能实现的功能。这也成就了MEMS传感器相对于传统传感器的一些优势，例如：体积小、重量轻、功耗低、可靠性高、成本低、适于批量化生产、易于集成等。

作为一种微米尺度的机械系统，MEMS中也包括不同形状的三维平板印刷产生的系统，这些系统的大小一般介于微米到毫米之间。

在这种尺度范围内，日常的物理经验往往不适用。例如，由于MEMS的面积体积比，比一般日常生活中的机械系统要小得多，也因此，其表面现象（如静电、润湿等）比体积现象（如惯性或热容量等）更重要。基于这些限制，MEMS一般通过类似半导体产业的加工技术（如表面微加工、体型微加工等技术）来制造。包括由硅加工方法改动而来的一些加工方法，如压延、电镀、湿蚀刻、干蚀刻、电火花加工等。

常见的MEMS应用有：

医疗领域的无创胎心检测、血压测量

喷墨打印机中作为压电组件

用于汽车电子中测量气囊压力、燃油压力、发动机机油压力、进气管道压力及轮胎压力，以及安全气囊系统、防滑系统、汽车导航系统和防盗系统等

数字微镜芯片

微型麦克风阵列

微型投影仪

手机摄影摄像系统中MEMS Drive用于防抖等